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青岛市黑龙江中路189号
1.系统
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。
2.洁净度与换气次数
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。
3.结构
为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
4.设计方案
要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。
5.材料
作为洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒,以及几乎不起尘的材料,另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学性能是否稳定。
6.压力和气流
为了保证房间的洁净度,必须防止外面污染气流进入室内,要达到这个目的,房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力,必须补充适当的新鲜空气。
7.辅助设备
必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是洁净室的主要尘源,因此必须充分控制,例如:在进入净化房前,所有的人都要经过人净系统,更换无尘衣,并且要接受净化系统功能的基本教育。
9.给排水和送风装置及电源
根据所要运行的车间,提供必须的给排水装置,送风装置和电源,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计,同时不得有勃于空气净化系统。
洁净室的规划 一般性的规划重点
洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项: 1. 洁净度等级。 2. 室压之平衡措施。
3. 温湿度要求。 4. 机器设备之必要性。
5. 确定生产流程。 6. 局部排气之必要性。
7. 日后扩充弹性。 8. 足够维护保养空间。
9. 空调送风方式。 10. 员工休息区之安排。
11. 设施与动力之配置。 12. 室内净高与楼板载重。
13. 设备空间与管道间。 14. 门窗宜少,气密性要佳。
15. 静电、振动及噪音。 16. 生产线与活动线少交叉。
17. 公害、污染与防灾。 18. 安装及运转成本之衡量。
洁净室的动线规划
所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要点:
1. 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2. 制造装置之出入,需不对作业产生大影响。
3. 超洁净室四周,宜设缓冲区(即较差洁净区)。
工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
洁净度 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | ||||||
1 10 100 1000 10000 100000 | |||||||
LSI制造工程 | |||||||
LSI组立检查工程 | |||||||
(矽)单结晶 | |||||||
照像光罩photo mask | |||||||
光阻涂膜photoresist | |||||||
一般液晶(tn,stn) | |||||||
显示用液晶(tft,mim) | |||||||
投影用液晶(tft) | |||||||
混合(hybrid)IC | |||||||
印刷基板材料 | |||||||
印刷配线板 | |||||||
电晶体、二极体 | |||||||
精密电子部品 | |||||||
磁头 | |||||||
磁碟 | |||||||
电脑、磁碟装置组立 | |||||||
录影带、光碟 | |||||||
照像底片 | |||||||
光织 | |||||||
精密轴承 | |||||||
光学镜片 | |||||||
半导体制造装置 | |||||||
洁净管及阀类 | |||||||
LSI制造用化学药品 | |||||||
精密测定机制造 | |||||||
清洗无压衣 | |||||||
印刷、制版 |
生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表
洁净度 产业别 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | |||||
1 10 100 1000 10000 | ||||||
(医药品) | ||||||
抗生物质 | ||||||
注射药 | ||||||
血清 | ||||||
药剂包装过程 | ||||||
医疗用器具 | ||||||
(病院) | ||||||
无菌手术室 | ||||||
手术室 | ||||||
无菌病室 | ||||||
调剂室 | ||||||
(食品) | ||||||
牛乳·乳制品 | ||||||
食肉·食肉加工 | ||||||
炼乳制品 | ||||||
清酒·酒类 | ||||||
糕饼·豆腐 | ||||||
制果·面包 | ||||||
(动物实验) | ||||||
饲养区 | ||||||
隔离区 | ||||||
其他 | ||||||
磨茹·菌类培养 | ||||||
观叶植物培养 | ||||||
化妆品 |
美国太空署(NASA)之无菌室规范重点(NHB-5340.2)
无菌室(BCR)洁净等级 | 微粒子 | 微生物 | ||
粒径 | 累积粒子数 个/ft3(个/L) | 浮游量 个/ft3(个/L) | 沈降量 个/ft2(个/M2) | |
100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1200(12900) |
10000 | ≥0.5 | ≤10000(≤350) | ≤0.5(0.0176) | 6000(64600) |
≥0.5 | ≤65(≤2.3) | |||
100000 | ≥0.5 | ≤100000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 3000(323000) |
≥5.0 | ≤700(≤25) |
FS-209E洁净度等级(1992年)
粒径大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | ||||||
微粒子数 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | |
S1制级 | 英制级 | ||||||||||
M1 | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | |||
M1.5 | 1 | 1240 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | |||
M2 | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | |||
M2.5 | 10 | 124000 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | |||
M3 | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | |||
M3.5 | 100 | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | ||||
M4 | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | |||||
M4.5 | 1000 | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | ||||||
M5 | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |||||||
M5.5 | 10000 | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | ||||||
M6 | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | |||||||
M6.5 | 100000 | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | ||||||
M7 | 10000000 | 283000 |