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半导体洁净车间有哪些注意事项

发布时间:2019-12-07人气:0

半导体组件空间单位都是以微米来计算的,所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上,很有可能影响到上面的精密导线布局的样式,造成短路(电流不经用电器、直接连电源两极)或断路情况。


1.无尘车间目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,因为其特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。


洁净车间净化工程中各级空气洁净度空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。十万级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。半导体洁净车间内部要确保粉尘(形态:固体微粒)只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境,这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。


2.为保持恒温恒湿,大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。


3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃特殊结构:荚膜、鞭毛、菌毛等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至zui低程度。


4.所有建材均以不易产生静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附的材质为主。


5.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘(形态:固体微粒)先行除掉。


6.净化车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。


半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水:一是防止水中粉粒污染晶圆,二是防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构的带电载子信道(指通信的通道、是信号传输的媒介),影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业的使用量非常惊人。


7.半导体洁净车间用到的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需要的,都需要使用98%氮气,吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。


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